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6.3.6設(shè)備配置方案

日期:2022-01-11 01:26:39點擊:170

6.3.6設(shè)備配置方案
計算表明,通道長度厶不宜過長,在計算條件下,L=25 mm的通道特性(熱流密度和 等溫行)要高于
L較長的通道特形。在方案設(shè)計中,對于較大的基板面積,可以將通道在 長度方向上進(jìn)行分割,將長通道變?yōu)槎掏ǖ?,如圖6.3.3,6. 3. 4所示。

此外,對于溫差應(yīng)該有專用設(shè)備加以保障。因為該溫差是基板溫度和流體溫度 之差,當(dāng)基板溫度給定以后,要求介質(zhì)溫度固定在設(shè)計值。例如,當(dāng),基板溫度 時,則介質(zhì)的平均溫度;應(yīng)穩(wěn)定在30℃
為了調(diào)節(jié)進(jìn)入微通道的介質(zhì)溫度和介質(zhì)流量,應(yīng)該配備一臺專用的熱交換器.在要求 提供嚴(yán)格的溫度和流量時,需采用制冷機(jī)組,在微通道中被加熱的介質(zhì)(水)作為中間介 質(zhì)在制冷機(jī)的蒸發(fā)器中降溫,達(dá)到所需要的溫度后再進(jìn)入微通道,從而形成獨立循環(huán)系 統(tǒng),如圖6. 3.5所示。

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